4工位/單工位恒溫臺
產品分類
全部分類
自動上下料，自動對位、自動測試
平坦度≤±5um,位置精度≤±0.1um
漏檢率≤0.3%、過檢率≤5%
自主開發軟件算法，配置自動上報CIM功能
尺寸 長*寬*高： 2.5m *2.0m *2.2m
樣品大小 510 x 515mm
相機 2.25um/x2,1.8um/x 2.5, 0.9um/x 5, 0.6um/x 7.5,0.45um/x 10x(4 out of 5)5x / 10x PL
檢驗精度 0.45 um
運動系統 采用高精度伺服電機，高精度滾珠螺桿，微米級
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COT&COW檢測設備
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